四探針測試儀是一種精確的電阻率測量儀器,廣泛應用于半導體、電子和材料科學領域。本文介紹四探針測試儀的使用方法、誤差來源及其在實際應用中的重要性。
四探針測試儀的正確使用步驟
確定四探針測試儀的線纜連接正確,儀器狀態正常,并進行預熱。
使用螺旋測微器測量圓形單晶硅片的厚度,使有效數字位數正確。
使用游標卡尺確定測量點,在距圓心本直徑處測量硅片的電阻率。
在距邊緣5mm或6mm處測量碎片電阻率。
對比不同位置所測得的電阻率值。
四探針測試儀的誤差分析
系統誤差可能包括視差、刻度誤差、磨損誤差、接觸力誤差、撓曲誤差、余弦誤差、阿貝誤差、熱變形誤差等。
隨機誤差則是指在重復測量過程中出現的不可預測的誤差。
四探針測試儀的優勢
四探針法測量電阻率具有許多優點,如無需校準,有時甚至用于其他方法測量電阻率的校準。與二探針法相比,四探針法處理數據更為簡單,且能同時測量電流值和電壓值,測量結果更為準確。
公司產品與服務
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